高密度模块式Model 227**高纯压力变送器美国西特

Model 227**高纯压力变送器美国西特
Setra 227 型压力变送器专为高密度的模块式 “Block” 气体棒和面板设计，能够满足如今 300 mm 工具的要求。该型号占用空间仅 11/8″，能节省宝贵的空间 ；结构坚固，是要求长期稳定性、高精度和适合在恶劣环境使用的压力测
量应用于
·11/8″“Block”气体棒和面板
·高纯度气体输送系统
·半导体过程工具
的理想选择。
与其他采用大体积封头腔室的产品不同， Setra 227 型压力变送器采用了易于吹扫的小型传感器腔室设计。所有接液部件均采用 VIM/VAR 316L 不锈钢制造，且表面钝化抛光至 5 Ra（蕞大 7 Ra），确保表面平整且耐化学腐蚀，实现无污染气体输送。
227 型压力变送器可选 5 VDC、 10 VDC 或 4-20mA 三种输出类型，精度达 ±0.25% FS 或 1.0% 读数。该型号可选符合工业标准的 11/8″带 C 型或 W 型密封的朝下安装的压力接口，另外还可使用多芯电缆、 4 针卡口接头和 9 针或 15 针D-sub 接头进行电气连接。与 328 型 11/8″旋转显示屏配合使用时， 227 型可实现理想的压力测量和显示。零点和量程调整装置位于旋转保护罩下方的侧面。用户还可选择绝压、表压或复合压测量范围。
高性价比
227 型压力变送器采用 Setra 砖利的可变电容技术，配有316L 不锈钢隔膜和绝缘电极板。绝缘电极板与传感器本地构成可变电容。当气体压力提升时，隔膜会变得略圆，使电容减小。传感器将检测到电容变化，并基于砖利的电荷平衡原理，通过 Setra *特的定制集成电路将其转换为高精度的线性直流电信号。Setra 所有的**高纯系列产品都基于 Setra 成熟的电容传感技术制造，能提供几乎不受 EMI/RFI 干扰的高精度、稳定的电压或电流输出信号。
表压、复合压、绝压可选
PSI或BAR量程可选
11/8"下法兰安装
Setra   的227型传感器**于当今的300mm工具所要求的高密度、模块式block
气体棒和面板。227型1-1/8"的占地面积优化了有价值的空间，其坚固的设计使
其非常适合那些要求长期稳定性、高精度和对恶劣环境格外不敏感的压力测量应
用。
与其它具有较大死端空泡体积的设计不同，227型具有一个方便洗涤的小排量
传感器舱。所有湿润部件均为优质VAR316LSS材料，电解抛光至5Ra（10
max.）的终饰。每一个传感器都经质谱仪进行过高达/sec的氦
渗漏试验。
可选择5VDC、10VDC或4-20mA输出，227型可提供±0.25%全量程或
±1.0%的读数精度。227型配备了一个节省空间的11/8"C型密封件下安装接口
底座，并可选择多芯电缆、4针bayonet连接器和一个9针或15针D型连接器
用于电气终端。加上327型的1-1/8"可旋转显示器，该产品包达到了压力测量
及显示的Ji致。
该*特设计包括在旋转保护盖下面的侧接近至零点及范围调节，可选择绝队压、
表压或复合压。
Setra   获専利的可变电容传感器的特点在于一个316L不锈钢膜片和一个绝缘电Ji
板。在传感器主体和电Ji板之间形成一个可变电容器。压力的增加致使膜片略微
变圆，从而增加了电容。通过Setra   *特的定制集成电路检测电容值的变化，并
利用获専利的电荷平衡原理将其转换成高度精准的线性DC电信号。
Setra   的整个**高纯系列均基于Setra   的被广泛认可的电容传感技术，高度精准和
稳定的电压或电流输出信号基本上可抑制电磁干扰/射频干扰（EMI/RFI）。
泄露率低
易于吹扫的小腔室
200PSI/250PSI/3000PSI
应用
模块式1-1/8"气体棒和面板
高纯气体传输系统
半导体工艺工具
好处
出色的稳定性，可避免停机
抗EMI/RFI功能防止假停机
符合CE标准
UltraHighPurity(**高纯应用压力传感器)
我们提供所有Setra   产品的应用帮助，其中包括人员帮助和文献帮助，
而客户有责任确定该产品的适用性。
227型的技术规格
性能数据
jing确RSS*（恒定温度下）读数±1.0%或±0.25%全量程
非线性，BFSL±0.15%全量程
滞后0.20%全量程
非重复性0.02%全量程
热效应
补偿范围oF（℃）+15至+150（-9到+65）
零点漂移%FS/100oF（50℃）2.0（1.8）
范围漂移%FS/100oF（50℃）2.0（1.8）
加热漂移0.1%全量程
在额定70oF下校验过的设备。
根据此数据而计算的zui大温度误差。
环境数据
温度
工作温度*oF（℃）-40至+185（-40到+85）
储存温度oF（℃）-40至+185（-40到+85）
工作温度仅是电子设备的温度Ji限。
受压媒介的温度可能要高或低很多。
物理描述
外壳不锈钢
电气连接182.88cm.多芯电缆，Bayonet
连接器或D-型连接器
压力接头下安装“C”型密封
通风通过零点和范围接近孔
重量6.5oz（184g）
电气数据（电压）
电路3根导线（Exc、Out、Com）
激励10至30VDC（5VFSO）
13至30VDC（10VFSO）
输出*0至5VDC或0.2至5.2VDC**
0至10VDC或0.2至10.2VDC**
电流消耗<8mA
校准精度为50Kohm负荷，可操作5000ohm或更大的负荷。
零点输出的出厂设置在±25mV之内（限5VDC输出）
或±50mV（限10VDC输出）。
范围（全量程）输出的出厂设置在±25mV之内
（限5VDC输出）或±50mV（限10VDC输出）。
电气数据（电流）
电路2根导线
输出4至20mA
外部负荷0至800Ohm
zui大电源电压（VDC）=10+0.02x（接收器正Ji导线的电阻）。
zui大电源电压（VDC）=30+0.004x（接收器正Ji导线的电阻）。
出厂时以24VDC回路电压和一个250ohm负荷，进行校准。
零点输出的出厂设置在±0.08mA之内。
范围（全量程）输出的出厂设置在±0.08mA之内。
压力媒介
与316L不锈钢相兼容的液体或气体。
产品规格如有变更，恕不另行通知。
型号   表压、绝压或复合压测量范围    类型    压力接口    输出    电气接口   精度
227G=227  025P 0~25 PSI 1R7B 0~1.7 Bar      A绝压    E5 下装“C”型密封 11 4-20 mA 06 6英尺多芯电缆F ±0.25% FS（带标定证书）
（1.125″底座）
050P 0~50 PSI 3R4B 0~3.4 Bar      C 复合压                    2B 0-5 VDC      B1 4 针卡口接头 J ±1.0%读数（带标定证书）
100P 0~100 PSI 007B 0~7 Bar             G 表压                  2C 0-10 VDC D1    15 针 D-sub 接头 *
250P 0~250 PSI 017B 0~17 Bar                                 33 0.2-5.2 VDC D9 9 针 D-sub 接头 *
500P 0~500 PSI 035B 0~35 Bar                                            59 0.2-10.2 VDC
10CP 0~1000 PSI 070B 0~70 Bar                                            N1 4-20 mA*
30CP 0~3000 PSI 200B 0~200 Bar
仅适用于复合压 仅适用于绝压
Z01P -14.7~85.3 PSI    10CT 1000 Torr
Z02P -14.7~235.3 PSI   15CT 1500 Torr
Z03P -14.7~985.3 PSI
Z05P -14.7~2985.3 PSI
认证不易燃认证：适用于潜在危险区域的认证：
北美：可选认证，适用于 ANSI/ISA-12.2.01-2011 标准中列出的 1 类 2 区 A、 B、 C、 D 组危险区域
欧洲：符合标准 EN60079-0:2012 的 ATEX 94/9/EC 2 区认证或 EN60079-15:2010 11 3G Ex nA IIC T4 Gc -30℃ < Ta<+ 80℃认证