Model 227**高纯压力变送器美国西特 Setra 227 型压力变送器专为高密度的模块式 “Block” 气体棒和面板设计,能够满足如今 300 mm 工具的要求。该型号占用空间仅 11/8″,能节省宝贵的空间 ;结构坚固,是要求长期稳定性、高精度和适合在恶劣环境使用的压力测 量应用于 ·11/8″“Block”气体棒和面板 ·高纯度气体输送系统 ·半导体过程工具 的理想选择。 与其他采用大体积封头腔室的产品不同, Setra 227 型压力变送器采用了易于吹扫的小型传感器腔室设计。所有接液部件均采用 VIM/VAR 316L 不锈钢制造,且表面钝化抛光至 5 Ra(蕞大 7 Ra),确保表面平整且耐化学腐蚀,实现无污染气体输送。 227 型压力变送器可选 5 VDC、 10 VDC 或 4-20mA 三种输出类型,精度达 ±0.25% FS 或 1.0% 读数。该型号可选符合工业标准的 11/8″带 C 型或 W 型密封的朝下安装的压力接口,另外还可使用多芯电缆、 4 针卡口接头和 9 针或 15 针D-sub 接头进行电气连接。与 328 型 11/8″旋转显示屏配合使用时, 227 型可实现理想的压力测量和显示。零点和量程调整装置位于旋转保护罩下方的侧面。用户还可选择绝压、表压或复合压测量范围。 高性价比 227 型压力变送器采用 Setra 砖利的可变电容技术,配有316L 不锈钢隔膜和绝缘电极板。绝缘电极板与传感器本地构成可变电容。当气体压力提升时,隔膜会变得略圆,使电容减小。传感器将检测到电容变化,并基于砖利的电荷平衡原理,通过 Setra *特的定制集成电路将其转换为高精度的线性直流电信号。Setra 所有的**高纯系列产品都基于 Setra 成熟的电容传感技术制造,能提供几乎不受 EMI/RFI 干扰的高精度、稳定的电压或电流输出信号。 表压、复合压、绝压可选 PSI或BAR量程可选 11/8"下法兰安装 Setra 的227型传感器**于当今的300mm工具所要求的高密度、模块式block 气体棒和面板。227型1-1/8"的占地面积优化了有价值的空间,其坚固的设计使 其非常适合那些要求长期稳定性、高精度和对恶劣环境格外不敏感的压力测量应 用。 与其它具有较大死端空泡体积的设计不同,227型具有一个方便洗涤的小排量 传感器舱。所有湿润部件均为优质VAR316LSS材料,电解抛光至5Ra(10 max.)的终饰。每一个传感器都经质谱仪进行过高达/sec的氦 渗漏试验。 可选择5VDC、10VDC或4-20mA输出,227型可提供±0.25%全量程或 ±1.0%的读数精度。227型配备了一个节省空间的11/8"C型密封件下安装接口 底座,并可选择多芯电缆、4针bayonet连接器和一个9针或15针D型连接器 用于电气终端。加上327型的1-1/8"可旋转显示器,该产品包达到了压力测量 及显示的Ji致。 该*特设计包括在旋转保护盖下面的侧接近至零点及范围调节,可选择绝队压、 表压或复合压。 Setra 获専利的可变电容传感器的特点在于一个316L不锈钢膜片和一个绝缘电Ji 板。在传感器主体和电Ji板之间形成一个可变电容器。压力的增加致使膜片略微 变圆,从而增加了电容。通过Setra *特的定制集成电路检测电容值的变化,并 利用获専利的电荷平衡原理将其转换成高度精准的线性DC电信号。 Setra 的整个**高纯系列均基于Setra 的被广泛认可的电容传感技术,高度精准和 稳定的电压或电流输出信号基本上可抑制电磁干扰/射频干扰(EMI/RFI)。 泄露率低 易于吹扫的小腔室 200PSI/250PSI/3000PSI 应用 模块式1-1/8"气体棒和面板 高纯气体传输系统 半导体工艺工具 好处 出色的稳定性,可避免停机 抗EMI/RFI功能防止假停机 符合CE标准 UltraHighPurity(**高纯应用压力传感器) 我们提供所有Setra 产品的应用帮助,其中包括人员帮助和文献帮助, 而客户有责任确定该产品的适用性。 227型的技术规格 性能数据 jing确RSS*(恒定温度下)读数±1.0%或±0.25%全量程 非线性,BFSL±0.15%全量程 滞后0.20%全量程 非重复性0.02%全量程 热效应 补偿范围oF(℃)+15至+150(-9到+65) 零点漂移%FS/100oF(50℃)2.0(1.8) 范围漂移%FS/100oF(50℃)2.0(1.8) 加热漂移0.1%全量程 在额定70oF下校验过的设备。 根据此数据而计算的zui大温度误差。 环境数据 温度 工作温度*oF(℃)-40至+185(-40到+85) 储存温度oF(℃)-40至+185(-40到+85) 工作温度仅是电子设备的温度Ji限。 受压媒介的温度可能要高或低很多。 物理描述 外壳不锈钢 电气连接182.88cm.多芯电缆,Bayonet 连接器或D-型连接器 压力接头下安装“C”型密封 通风通过零点和范围接近孔 重量6.5oz(184g) 电气数据(电压) 电路3根导线(Exc、Out、Com) 激励10至30VDC(5VFSO) 13至30VDC(10VFSO) 输出*0至5VDC或0.2至5.2VDC** 0至10VDC或0.2至10.2VDC** 电流消耗<8mA 校准精度为50Kohm负荷,可操作5000ohm或更大的负荷。 零点输出的出厂设置在±25mV之内(限5VDC输出) 或±50mV(限10VDC输出)。 范围(全量程)输出的出厂设置在±25mV之内 (限5VDC输出)或±50mV(限10VDC输出)。 电气数据(电流) 电路2根导线 输出4至20mA 外部负荷0至800Ohm zui大电源电压(VDC)=10+0.02x(接收器正Ji导线的电阻)。 zui大电源电压(VDC)=30+0.004x(接收器正Ji导线的电阻)。 出厂时以24VDC回路电压和一个250ohm负荷,进行校准。 零点输出的出厂设置在±0.08mA之内。 范围(全量程)输出的出厂设置在±0.08mA之内。 压力媒介 与316L不锈钢相兼容的液体或气体。 产品规格如有变更,恕不另行通知。 型号 表压、绝压或复合压测量范围 类型 压力接口 输出 电气接口 精度 227G=227 025P 0~25 PSI 1R7B 0~1.7 Bar A绝压 E5 下装“C”型密封 11 4-20 mA 06 6英尺多芯电缆F ±0.25% FS(带标定证书) (1.125″底座) 050P 0~50 PSI 3R4B 0~3.4 Bar C 复合压 2B 0-5 VDC B1 4 针卡口接头 J ±1.0%读数(带标定证书) 100P 0~100 PSI 007B 0~7 Bar G 表压 2C 0-10 VDC D1 15 针 D-sub 接头 * 250P 0~250 PSI 017B 0~17 Bar 33 0.2-5.2 VDC D9 9 针 D-sub 接头 * 500P 0~500 PSI 035B 0~35 Bar 59 0.2-10.2 VDC 10CP 0~1000 PSI 070B 0~70 Bar N1 4-20 mA* 30CP 0~3000 PSI 200B 0~200 Bar 仅适用于复合压 仅适用于绝压 Z01P -14.7~85.3 PSI 10CT 1000 Torr Z02P -14.7~235.3 PSI 15CT 1500 Torr Z03P -14.7~985.3 PSI Z05P -14.7~2985.3 PSI 认证不易燃认证:适用于潜在危险区域的认证: 北美:可选认证,适用于 ANSI/ISA-12.2.01-2011 标准中列出的 1 类 2 区 A、 B、 C、 D 组危险区域 欧洲:符合标准 EN60079-0:2012 的 ATEX 94/9/EC 2 区认证或 EN60079-15:2010 11 3G Ex nA IIC T4 Gc -30℃ < Ta<+ 80℃认证